产品特性:
1、采用大负载，高精度封闭式气浮轴承
2、非接触力知电机驱动高动态响应
3、内置高分辨率光栅尺传感器信号反馈
4、25纳米端跳 / 径跳精度高、重复精度高
5、全空气载气浮坏形导轨，具有超平滑的速度轨迹
6、多种规格型号可选，支持按需定制
扫一扫 在手机上阅读
半导体整机设计
精密光学检测运动平台
半导体整机设计/集成
超精密大中空气浮运动平台
长按屏幕识别二维码
打开手机扫描二维码
友情链接:
