产品特性:
1、采用大负载,高精度封闭式气浮轴承
2、非接触力矩电机驱动,高动态响应
3、内置高分辨率光栅传感器信号反馈
4、25纳米端跳 / 径跳精度,重复精度高
5、全空气预载气浮环形导轨,具有超平滑的速度轨迹
6、多种规格型号可选,支待按需定制
扫一扫 在手机上阅读
Aligner晶圆校准器
半导体整机设计/集成
真空吸盘
超精密气浮三轴运动平台
长按屏幕识别二维码
打开手机扫描二维码
友情链接: