产品特性：
1、采用高精密气浮导轨和无铁芯直线电机驱动
2、高稳定性花岗岩基台
3、内置0.1um高分辨率光栅尺传感器
4、优异的定位精度和动态性能
5、具备超高平面度和直线度
6、多种规格型号可选，可按需定制
产品参数：
有效行程 | 1000mm（可定制） |
持续推力 | 连续220N；峰值440N |
最大速度 | 2m/s |
加速度 | 4m/s² |
直线度 | ≤1um |
平面度 | ≤1um |
定位精度 | ±1um |
重复定位精度 | ±0.5um |
额定负载 | 15Kg |
光栅尺分辨率 | 0.1um |
气压 | 0.5Mpa |
应用领域 | 适用于半导体加工及量测、超精密加工、高精度光学扫描、光学检测等高端行业 |
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