产品特性:
1、采用高精密气浮导轨和直线电机驱动
2、纳米级平面度和直线度
3、自研的多轴运动控制算法，实现高定位精度和重复精度
4、叠加式双驱结构设计，承载能力强
5、高分辨率光栅尺信号反馈，实现50um纳米级定位精度
6、多种规格型号可选，支持按需定制
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6/8寸 卡塞式 6Port EFEM移载
晶圆夹持手指（末端执行器）
8寸SMIF EFEM晶圆移载
真空吸盘
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