产品特性：
1、采用大负载，高精度的封闭式气浮轴承
2、非接触力矩电机驱动，高动态响应
3、高精度光学线性编码器信号反馈，保证高精度定位
4、纳米级轴跳、径跳精度，重复精度更高
5、内置高分辨率光栅尺传感器
6、多种规格型号可选
产品参数：
台面直径 | 80mm—150mm（可定制） |
最大转速 | 500—800rpm |
定位精度 | ±1.5 arc sec |
双向重复精度 | ±1 arc sec |
最大负载 | 轴向70Kg；径向30Kg |
轴向误差 | ＜100nm |
径向误差 | ＜200nm |
摆角误差 | <3urad |
光栅尺分辨率 | 0.1um |
气压 | 0.5Mpa |
应用领域 | 适用于半导体加工及量测、超精密加工、高精度计量、光学检测和纳米级设备等高端行业 |
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