精密光学检测运动平台

产品特性:

1、采用高精密气浮导轨和弧线电机驱动

2、5轴纳米精度机台 B C轴径向跳动25nm

3、自研的多轴运动控制算法,实现高定位精度和重复精度

4、高分辨率光栅尺信号反馈

5、多种规格型号可选,支持按需定制

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