产品特性:
1、支持单臂、双臂的配置
2、样式丰富,包括真空吸附式、边缘夹持式、翻转式、叠层式、伯努利吸盘式
3、所有型号接口标准统一,可兼容大多数机器人,互换更便捷
4、支持结构尺寸、夹持方式、材质按需定制
产品参数:
支持晶圆尺寸
2寸—12寸
夹持方式
真空吸附式、边缘夹持式、翻转式、伯努利吸盘式(可定制)
洁净度
Class 1
材质
氧化铝、陶瓷、碳纤维等
特点
耐高温、耐腐蚀、耐磨、高绝缘
应用领域
适用于半导体(晶圆)、LED(蓝宝石基板)、光电(玻璃)等产品的夹持搬运
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Aligner晶圆校准器
Load Port晶圆装载系统
EFEM晶圆移载系统
晶圆夹持手指(末端执行器)
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