晶圆夹持手指(末端执行器)

产品特性:

1、支持单臂、双臂的配置

2、样式丰富,包括真空吸附式、边缘夹持式、翻转式、叠层式、伯努利吸盘式

3、所有型号接口标准统一,可兼容大多数机器人,互换更便捷

4、支持结构尺寸、夹持方式、材质按需定制


产品参数:

     支持晶圆尺寸     

2寸—12寸

夹持方式

真空吸附式、边缘夹持式、翻转式、伯努利吸盘式(可定制)

洁净度

Class 1

材质

氧化铝、陶瓷、碳纤维等

特点

耐高温、耐腐蚀、耐磨、高绝缘

应用领域

适用于半导体(晶圆)、LED(蓝宝石基板)、光电(玻璃)等产品的夹持搬运


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