产品特性：

1、采用自研微型单轴机器人模组，实现高速、高效、高精度的晶圆校准

2、内嵌式一体化设计，无需外设控制器及走线空间，体积小巧，结构紧凑

3、搭载自研的晶圆自动对准系统及控制系统，快速完成晶圆中心与角度等补正动作，实现晶圆的快速定位，定位精度达0.1mm

4、配备高性能光学传感器，可兼容透明、半透明、不透明等产品的定位校准，适用于100—300mm尺寸的晶圆、玻璃等产品

5、具备驱控系统、感测系统、真空系统、循环系统等实时监控功能

产品参数：