产品特性：
1、采用高精密气浮导轨和无铁芯直线电机驱动
2、直径320mm精密大中空气浮旋转台
3、微米级平面度和直线度
4、自研的多轴运动控制算法，实现高定位精度和重复精度
5、高分辨率光栅尺信号反馈，实现微米级定位精度
6、采用模块化和下沉式设计，实现多轴的高精度、高刚度直线运动以及紧凑性结构布局
产品参数：
行程 | 350mm（可定制） |
旋转台直径 | 310mm |
最大速度 | 1m/s |
最大加速度 | 10m/s² |
平面度 | ±1um |
直线度 | ±0.5um |
定位精度 | ±0.2um（校准补偿后） |
重复定位精度 | ±0.1um |
最大负载 | 30Kg |
光栅尺分辨率 | 0.1um |
气压 | 0.4～0.5Mpa |
应用领域 | 适用于半导体加工及量测、超精密加工、光学检测和微纳加工等高端行业 |
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