产品特性：
1、采用高精密机械导轨和无齿槽直线电机驱动
2、内置高分辨率光栅尺传感器
3、优异的定位精度和动态性能
4、纳米级超高平面度和直线度
5、支持尺寸、行程、负载按需定制
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晶圆夹持手指（末端执行器）
EFEM晶圆移载系统
6/8寸 卡塞式 6Port EFEM移载
精密气浮旋转台
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