产品特性:
1、适用于12寸品圆的搬运传输
2、自主化生产，满足用户定制化需求
3、设计符合SEI标准，具备良好的通用性和兼容性
4、标准化和模块化设计，可兼容多种工况要求
5、核心部件均为自主研发，稳定性好，通用性强
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晶圆移载 EFEM
EFEM晶圆移载系统
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