产品特性：
1、整套系统完全自主化生产，满足用户定制化需求
2、设计符合SEMI标准，具备良好的通用性和兼容性
3、内部结构设计紧凑合理，支持客户定制化需求
4、核心部件均为自主研发，稳定性好，通用性强
5、标准化和模块化设计，可兼容多种工况要求
产品参数：
结构尺寸 | 1480mm * 980mm * 2090mm |
洁净等级 | Class 1 |
位置精度 | ±0.1m |
装载端口 | 2—3个端口（可定制） |
Load Port | 卡塞式 |
末端执行器 | 真空/边缘夹持/伯努利非接触式 |
适用晶圆材质 | 单晶硅/碳化硅 等 |
晶圆规格 | 100mm—300mm（4寸—12寸） |
机械臂 | 双臂水平关节臂 |
机械臂重复精度 | ±0.1mm |
电源电压 | 单相 AC200V ±10% ；50/60Hz ±5% |
消耗电流 | 4kVA (20A/200VAC) FFU |
干燥空气 | 0.5Mpa ±10% |
应用领域 | 晶圆的移载与检测 |
长按屏幕识别二维码
打开手机扫描二维码
