产品特性：
1、采用大负载，高精度封闭式气浮轴承
2、非接触力矩电机驱动，高动态响应
3、内置高分辨率光栅尺传感器信号反馈
4、25纳米端跳/径跳精度，重复精度高
5、全空气预载气浮环形导轨，具有超平滑的速度轨迹
6、多种规格型号可选，支持按需定制
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超精密零部件
C轴旋转运动
晶圆夹持手指（末端执行器）
EFEM晶圆移载系统
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