产品特性：

1、整机系统完全自主化生产，满足用户定制化需求

2、设计符合SEMI标准，具备良好的通用性和兼容性

3、核心部件均为自主研发，稳定性好，通用性强

4、标准化和模块化设计，可兼容多种工况要求

5、内部结构设计紧凑合理，接口标准统一，支持客户定制化需求

服务内容：

1、用户可自行选择设备组件，根据需求进行整机定制及系统集成

2、按需设计定制上料系统及模组（Load Port定制设计）

3、晶圆移载系统设计（EFEM移载系统定制设计）

4、搬运机器人、末端执行器、晶圆校准器等按需定制

5、高精密运动检测平台定制设计