背景介绍：

1.±50nm超精密气浮平台是目前国内性能卓越的气浮直线台之一，可作为单轴使用，或根据应用与其它轴组装成系统，广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学等行业。

2.采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，可免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命长。

3. 气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是客户应用的理想选择。

4. 气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮平台的直线度、平面度等指标得到了很大提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复定位精度得到了显著提高。

纳米级气浮平台晶圆检测系统解决方案：

需要精密定位的工艺环节，都需要高精度的电机驱动控制和导轨。晶圆切割要在极短的曝光时间内完美定位，就需要靠精密机械运作和实时的定位校正，纳米级超精密气浮平台借由非接触式气浮导轨结构、直线电机驱动的移动方式，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，能达成极高速的运动和持久稳定的运作，在半导体晶圆切割等精密应用中，是理想选择。

经过多年精密运动平台的技术积累和沉淀，已形成了一整套完备的精密运动平台系统的研发和生产体系，特别在气浮理论计算、结构优化设计、精密集成组装和测试等方面具备雄厚的实力。